Rapport
DES MINES DE SAINT-ETIENNE
N° d’ordre : 326CD
THESE
Présentée par
Béatrice RIVIERE
pour obtenir le grade de
tel-00012121, version 1 - 11 Apr 2006
DOCTEUR
DE L’ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DES MINES DE SAINT-ETIENNE
Dans la spécialité : GENIE DES PROCEDES
Optimisation du procédé de sérigraphie pour la réalisation de capteurs de gaz en couche épaisse
Etude de la compatibilité avec la technologie microélectronique Soutenue à Saint-Etienne le 4 février 2004
COMPOSITION du JURY
Messieurs
Giuliano MARTINELLI
Président
Messieurs
Claude LUCAT
Michel LABEAU
Rapporteurs
Madame
Christine ALEPEE
Examinateurs
Messieurs Christophe PIJOLAT
Encadrants
Jean-Paul VIRICELLE
Thèse préparée au Centre « Sciences des Processus Industriels et Naturels »
tel-00012121, version 1 - 11 Apr 2006
Je tiens à remercier Christophe PIJOLAT et Jean Paul VIRICELLE pour m'avoir accueillie au sein de son laboratoire et m'avoir permis de réaliser ma thèse.
tel-00012121, version 1 - 11 Apr 2006
Je suis également très reconnaissante envers Guy TOURNIER pour tous ses conseils et ses coups de pouces qui m'ont grandement aidé tout au long de mes travaux.
Je remercie mes collègues de l'équipe MICC qui ont su m'aider quand j'en avais besoin :
Pierre MONTMEAT, Nicolas GUILLET, Marc KAMIONKA, Marilyne ROUMANIE, David
ROTUREAU Guillaume BES, Christine VENDEVILLE et Nathalie BERNE..
Mes remerciements s'adressent également à Monsieur MOREL, Pierre FAUE, Muriel
SAUVAN et Christine ALEPE de la société MiCS, pour m'avoir confié cette étude et fait confiance. Je remercie le personnel du département SPIN et du département SMS qui m'ont fait profiter de leurs compétences dans les techniques de caractérisations (MEB, RX, Granolumétre, MET
¦etc.).
Enfin, je ne pourrais oublier tous les collègues des autres équipes de SPIN sans qui ses quatre dernières années n'auraient pas été aussi joyeuses.
Je finirais en