Sommaire

1- Introduction 5
2- Fabrication du transducteur 5 2-1. Lithographie simple face - Premier masquage 5 2-1.1. Dépôt de résine S 18-13 5 2-1.2. Recuit 5 2-1.3. Insolation 5 2-2. Première observation 6 2-3. Lift-off 6 2-4. Deuxième observation 7 2-5. Vérification électronique 8 2-6. Lithographie simple face - Deuxième masquage 8 2-6.1. Dépôt de résine 8 2-6.2. Recuits 9 2-6.3. Insolation 9 2-7. Clivage 9
3- Autres manipulations 10 3-1.1. Dépôts de résine et recuits 10 3-1.2. Insolation double face et développement 10 3-1.3. Gravure chimique 10 3-1.4. Observation et mesure de l’épaisseur de la lame 11
4- Conclusions 11

Introduction

Dans le but de se familiariser avec les techniques de microfabrication, nous avons fabriqué sur trois séances de travaux pratiques un transducteur ampérométrique pour la détection de glucose. Nous avons ainsi pu apercevoir les principales étapes utilisées en salle blanche comme les dépôts de résine et de métal, la photolithographie, ou les gravures chimiques. Toutes ces étapes ont été suivies de contrôle au microscope et d’une vérification électrique pour s’assurer de la conformité des produits.

Fabrication du transducteur

Dans tout processus de microfabrication, il faut choisir le substrat sur lequel on va travailler. Ici, on travaillera sur un wafer de silicium oxydé SiO2.

1 Lithographie simple face - Premier masquage

1 Dépôt de résine S 18-13

Dans un premier temps, nous avons déposé sur le wafer une fine couche de résine photosensible. La tournette est un bon moyen pour déposer uniformément la résine sur le wafer. Il faut alors régler trois paramètres de l’appareil qui sont la vitesse de rotation, l’accélération et le temps de l’opération. Par ailleurs, ces paramètres dépendent du type de résine déposé. Pour cette première étape, nous utilisons une résine de type S 18-13.