TP2 MA20

AFM GR8

13/04/2010

FERREIRA Julien MTE02

HERMITE Enora MTE02

JEGOREL Théo MTE02

JOHN Delphine TC04

FERREIRA Julien MTE02 - HERMITE Enora MTE02 - JEGOREL Théo MTE02 - JOHN Delphine TC04 TP MA20 AFM GR8 13/04/2010

Les objectifs du TP
Acquisition des images avec l’AFM sur trois types d’échantillons différents Réalisation des mesures topographiques de ces images par le logiciel IP Exploitation des résultats obtenus Comparaison de cette technique avec le MEB pour les mêmes échantillons donnés

Introduction :
L’AFM (microscope à force atomique) permet d’obtenir des images en 3D à très haute résolution à l’échelle atomique et nanométrique. Il sert à visualiser des contrastes topographiques d’un échantillon.

I-

Présentation du matériel :
 Un micro- levier flexible en porte à faux, le « cantilever » généralement en silicium ou nitrure de silicium.  La pointe sonde, « tip » en anglais, placée à l’extrémité du micro- levier avec un rayon de courbure de quelques nanomètres au bout. Elle sert à balayer la surface de l’échantillon et doit être très rigide  L’échantillon  2 vis micrométriques pour déplacer l’échantillon + 1 vis sur la tête  Des scanners piezzo- électriques qui permettent de se déplacer plus finement sur l’échantillon. Un piezzo pour chaque direction. Ils se déplacent grâce au courant et sont paramétrable avec un logiciel.  Laser  Miroir : réfléchi le rayon laser et l’envoi à la photodiode.  Photodiode circulaire divisée en 4 part égales : mesure la déviation du micro- levier et l’envoie au logiciel d’acquisition.  Une caméra qui permet de repérer la pointe et l’échantillon.

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-

II-

Manipulation
2.1Mode de fonctionnement : « mode contact »

Il existe trois modes possible d’utilisation de la pointe sonde qui sont le mode contact, tapping et non- contact. Ils sont regroupés en deux