BRUNO MERCIER
Service Vide L.A.L mercier@lal.in2p3.fr Introduction aux techniques de nettoyage fabrication Les procédés chimiques de nettoyage
Prédégraissage aux solvants

nettoyage
Détection fuite

dégraissage en phase aqueuse décapage/passivation Le rinçage/séchage/stockage
Les procédés mécaniques de nettoyage

Traitements désorptions
Les techniques de finition des surfaces nettoyés

Analyse surface installation Étuvage in situ

Quelques exemples de procédures

Comment évaluer l’efficacité du nettoyage
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INTRODUCTION
Pourquoi nettoyer ??
Taux dégazage dépend de la nature du matériau, de son procédé d’élaboration et de sa propreté
Atteindre le vide limite de l’installation
La qualité du vide obtenu (sans espèces contaminantes)

Des états de surfaces connus

Le nettoyage est une étape indispensable pour atteindre ces objectifs
Et à tous les stades de l’élaboration des enceintes
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Les contaminations
Les salissures liées à l’historique de la pièce
L’usinage
Coupe meulage

huile de coupe (dégradation lubrifiant)
Incrustation de particules métalliques
Emprisonnement de gaz

La manipulation

Traces de doigts
Colle ruban adhésif crayon stylo, résine ….

Le lieu de travail

Fumées, poussières, bactéries, …

Le stockage

La nature du matériau
La nature du matériau (pression de vapeur saturante faible) cadmium, zinc,..

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Les procédés chimiques de nettoyage
Le choix d’une procédure doit prendre en compte les critères suivants:
La nature des salissures (Nature hydrophobe des graisses et des huiles)
Le niveau de vide à obtenir (primaire, poussé ou UHV).
Les contraintes du « process », la « propreté » du vide.
Les matériaux mis en œuvre.
La conception des installations
Les contraintes de l’hygiène et la sécurité.
Les coûts.
Il n’existe pas une mais de multiples procédures

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Procédure simplifiée de nettoyage
Action mécanique, température ..
Prédégraissage chimique aux solvants rinçage Pression >10-3 mbar

dégraissage chimique en milieu aqueux
Rinçage eau