piezoelectricite
Chapitre II
Intégration du PZT dans les microsystèmes
Résumé :
Ce chapitre a pour but de donner la tendance actuelle pour les microsystèmes actionnés par PZT. Dans un premier temps, nous allons introduire le concept de microsystèmes réalisés en technologie hybride puis nous enchaînerons sur les réalisations à base de films minces.
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Chapitre II - Intégration du PZT dans les Microsystèmes
II.1.Introduction
L’intégration sur silicium, par l’utilisation des techniques classiques de la microélectronique, de films piézoélectriques et ferroélectriques en couches minces fait l’objet d’un important effort de recherche de la part des laboratoires impliqués dans le développement de microsystèmes Electromécaniques (MEMSa) et de dispositifs à mémoire
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. La possibilité d’intégrer à des microstructures des fonctions piézoélectriques permet le
développement de micro capteurs ou de microactionneurs dont les domaines d’applications vont de l’analyse biologique (micro-pompes) à l’imagerie médicale (matrice de transducteurs ultrasonores), en passant par les capteurs de pression résonants, accéléromètres et gyromètres. Concernant les mémoires de masse non volatiles, le développement des techniques locales de mesures (STM, AFM...) appliquées à la polarisation à l’échelle nanométrique des matériaux ferroélectriques permet d’envisager de très fortes densités d’intégration et constitue une alternative possible des supports magnétiques 3 . Ce chapitre n'est pas exhaustif, mais a pour but de présenter certaines réalisations d'actionneurs à base de PZT. Il commence par la présentation des systèmes hybrides, c'est à dire, l'intégration de matériaux massifs sur des microstructures en silicium
(poutres, membranes, etc.). Ensuite nous présentons des exemples de dispositifs entièrement réalisés par les techniques de la microélectronique. Enfin nous concluons sur les verrous scientifiques